半導(dǎo)體電阻率測試儀是為了適應(yīng)當(dāng)前迅速發(fā)展中的高分子半導(dǎo)電納米材料電阻率測試需要,參照有關(guān)標準設(shè)計的。半
導(dǎo)體電阻率測試儀是根據(jù)四探針原理,適合半導(dǎo)體器材廠,材料廠用于測量半導(dǎo)體材料(片狀、棒狀)的體電阻率,方塊電阻(簿層電阻),也可以用作測量金屬薄層電阻,經(jīng)過對用戶、半導(dǎo)體廠測試的調(diào)查,根據(jù)美國ASTM標準的規(guī)定,在電路和探頭方面作了重大的修改和技術(shù)上的許多突破,它更適合于半導(dǎo)體器材廠工藝檢測方面對中值、高阻硅、鍺材料方塊電阻和體電阻率的測量需要,成為普及型的電阻率測試儀,具有測量精度高,穩(wěn)定性好,輸入阻抗高,使用方便、價格低廉等特點。
儀器的電流輸出為10 µA - 100 mA,電阻率測試范圍為10-2- 105Ωcm,直接采用數(shù)字顯示。半導(dǎo)體電阻率測試儀采用通用的電流-電壓降法即四端子測量法,可以消除電極與粉末接觸產(chǎn)生的接觸電阻誤差,還可以消除聯(lián)接系統(tǒng)所帶來的誤差, 克服了以往傳統(tǒng)的二端測量粉末電阻率儀器的弊病,真實、準確地測量出粉末樣品的電阻率,因此重復(fù)性好。
半導(dǎo)體電阻率測試儀的可靠性和穩(wěn)定性大大增強,更方便于用戶,而且價格低廉、實惠。本儀器具有測量精度高,穩(wěn)定性好,重復(fù)性好,使用方便等特點,并有自校功能。配置不同的測試架可以對半導(dǎo)體粉末、高分子納米粉末和固態(tài)金屬進行電阻、電阻率多用途的測量。適用于有機、無機半導(dǎo)體粉末材料(包括納米級)的電阻率測量,也可以測量固體半導(dǎo)體材料,特別適合于太陽能多晶硅、硅粉質(zhì)量的測量、分選和質(zhì)量控制.電阻率值直接數(shù)字顯示由具有高精度加壓系統(tǒng),高度測量的測試臺和儀器組成。
儀器主要包括電氣箱和測試架兩部分,電氣測試部分由高精度直流數(shù)字電壓表和直流恒定電流源組成。測試架為壓力傳感器,加壓機構(gòu)和粉末標準容器組成。壓力機構(gòu)采用手動操作、壓力平穩(wěn)。
半導(dǎo)體電阻率測試儀是適用于碳素廠、焦化廠、石化廠、粉末冶金廠、高等院校、科研部門、是檢驗和分析固態(tài)、粉態(tài)和納米樣品質(zhì)量的一種重要工具。是電阻率測試儀*的設(shè)備之一。